Современные войска радиационной, химической и биологической защиты ведут свою историю с 13 ноября 1918 года, когда приказом Реввоенсовета была создана Химическая служба Красной армии. В конце 20-х годов химические подразделения имелись во всех стрелковых и кавалерийских дивизиях и бригадах.

К началу Великой Отечественной войны химические войска были представлены отдельными батальонами центрального подчинения, отдельными ротами ПХО армии и корпусов, дегазационными ротами стрелковых дивизий, взводами ПХО и огнеметными командами стрелковых полков.
В ходе войны в составе войск были технические бригады (для маскировки дымами крупных объектов), батальоны и роты противохимической (с августа 1941 г. химической) защиты, огнеметные батальоны и роты.
На протяжении всей истории войска радиационной, химической и биологической защиты осуществляли выполнение наиболее сложных, наукоемких задач, обеспечивали безопасность других войск, выполняли наиболее опасные и ответственные задачи в ходе Великой Отечественной войны, при ликвидации последствий аварии на Чернобыльской АЭС, выполнении задач в Афганистане и Северо-Кавказском регионе.
В 2013 г. подразделения войск РХБ защиты участвовали в ликвидации последствий паводка на Дальнем Востоке. Воины отработали в 67 населенных пунктах, провели дезинфекцию более трех тысяч объектов общей площадью свыше 200 кв.км, свыше семи тысяч зданий и сооружений. В ходе работ по дезинфекции территории пострадавших регионов особо отличились военнослужащие соединения РХБ защиты Восточного военного округа, сообщается на Минобороны РФ.